快科技6月8日音信，针对外界称台积电因保守不肯投资下一代光刻竖立的传言，台积电董事长魏哲家近日在鼓励大会上躬行辟谣，暗意有买High-NAEUV光刻机，且正竭力研发，但基于本钱考量，现阶段暂不插足量产。
这台ASML研发的最新High-NAEUV光刻机，每台单价高达3.8亿至4亿好意思元，是面前主流EUV竖立的两倍多。魏哲家坦言，竖立太贵是暂不量产的主因。
od手机app中国官网入口台积电的计谋是先用好手里现存的EUV竖立。魏哲家强调，现存光刻机搭配多重图案化工夫，KPL下注app下载官方版仍足以复古先进制程的微缩需求，台积电有底气等High-NAEUV的经济账算得更合算时再出手。
台积电早在2024年9月就罗致了首台High-NAEUV光刻机，并安置在研发中心用于设备下一代工艺的基础光刻工夫。魏哲家以为，提前启动研发准备，智商确保改日投产时达到可靠良率与产出扫尾。
不外他坦言，要把这台4亿好意思元的竖立实在用起来，还需再等等。英特尔等竞争者早已将High-NAEUV提上量产日程，而台积电选拔先研发、后投产更稳妥的道路，得当其一贯的本钱顺次。
魏哲家展望，High-NAEUV将在实在需要单次曝光已矣更隐微线宽且晶圆本钱运行具备竞争力的时候点，当然进入坐蓐体系。
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